유체압을 이용한 임프린트 장치, 이를 이용한 임프린트 방법 |
2015-03-04 |
특허청 |
주사기 충진 장치 및 주사기 충진 방법 |
2009-09-10 |
특허청 |
웨이퍼 본더 및 임프린트 장치 |
2009-12-17 |
특허청 |
웨이퍼 위치 교정 장치, 웨이퍼 본더, 및 웨이퍼 본더용 지그 |
2012-03-29 |
특허청 |
전자기파 가열을 이용한 웨이퍼 본더 |
2013-11-14 |
특허청 |
주사기 충진 장치 및 주사기 충진 방법 |
2013-08-19 |
특허청 |
진공 형성부를 갖는 주사기 충진 장치 |
2013-12-20 |
특허청 |
듀얼 쿨링을 이용한 웨이퍼 본더 및 웨이퍼 본딩 방법 |
2013-10-14 |
특허청 |
유체압을 이용한 기판접합 장치 및 기판 접합 방법 |
2015-04-20 |
특허청 |
홀더를 갖는 웨이퍼 본더 및 웨이퍼 본딩 방법 |
2015-04-20 |
특허청 |
플라즈마 활성화 처리를 이용한 웨이퍼 본더, 웨이퍼 접합 장치, 및 웨이퍼 접합 방법 |
2015-05-14 |
특허청 |
진공형성 블록을 갖는 주사기 충진 장치 및 진공형성 블록을 이용한 주사기 충진 방법 |
2017-08-29 |
특허청 |
복제 스탬프 제작 장치 및 가압부재를 이용한 복제 스템프 제작 방법 |
2016-05-20 |
특허청 |
기판 가접합 장치, 이를 이용한 기판 접합 시스템 및 기판 접합 방법 |
2018-05-10 |
특허청 |
제약용 약액 탱크 장치 및 약액 배출 방법 |
2020-01-15 |
특허청 |
기판 접합 장치 |
2021-03-04 |
특허청 |
주사기 충전 장치 |
2022-03-18 |
특허청 |
상표등록 - 제40류 의약품 가공업등 8건 |
2022-09-22 |
특허청 |
ISO9001 |
2021-05-28 |
크레비즈인증원 |
강소기업확인서 |
2021-05-01 |
고용노동부 |
기업부설연구소 |
2008-04-17 |
과학기술정보통신부 |
벤처기업 |
2022-09-28 |
벤처기업확인기관 |
소재 부품 장비 전문기업 |
2021-09-17 |
한국산업기술평가관리원 |
이노비즈 |
2022-03-23 |
중소벤처기업부 |
라인란드 |
2013-03-26 |
TUV Rheinland |